1.  特氣柜(Gas Cabinet)

2.   特氣柜尺寸：800長(zhǎng)×540寬×1800高

3.   PN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口

GN2入口壓力 80PSI，1/4 VCR接口

CDA入口壓力 4-10bar，1/4卡套接口

VENT 1/2VCR接口

工藝氣體出口1/4 VCR接口

4.   特氣柜柜體換氣量:SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí)

5.   根據(jù)實(shí)際需要可安裝稱重、報(bào)警、加熱裝置

6.   按操作方式分為：手動(dòng)切換、半自動(dòng)切換。

7.   閥門盤配件全部采用進(jìn)口電子級(jí)材料，材質(zhì)為SS316L不銹鋼。

8.   氣體管路及焊接件加工全部采用Swagelok自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接。

9.   氣體管路設(shè)計(jì)合理，具備抽空、回充、壓力指示、排放、檢漏、預(yù)留接口等。

10. 完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測(cè)報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)切斷。

11. 氣瓶柜設(shè)計(jì)美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，可按照客戶要求定制。

特氣柜主要應(yīng)用在 為MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等設(shè)備供應(yīng)有毒有害易燃易爆氣體上，涉及半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物工程、微電子、化工等行業(yè)。

我們的特氣設(shè)備有：電子級(jí)特氣柜(GasCabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by FlowMeter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測(cè)器（GasDetector），廢氣處理設(shè)備(Scrubber)。我們的產(chǎn)品有：美國(guó)PARKER調(diào)壓閥、FPA接頭，日本JSK卡套接頭，日本FUJIKINVCR接頭，高純KUZE/ASFLOWBA/EP不銹鋼管，高純NKS壓力表，氣體壓力傳感器，氣體壓力開(kāi)關(guān)，高純Parker/富士金隔膜閥，高純氣體過(guò)濾器， 氣體質(zhì)量流量計(jì)。