
Renishaw雷尼紹Resm系列圓光柵
雷尼紹Resm圓光柵具有 很好的性能。Resm刻劃精度達(dá)±0.5角秒、分辨率達(dá)0.004角秒,適用于精度要求極高的測量場合。
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頂部Resm圓光柵Resm圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20μm柵距Resm與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容,而40μm柵距Resm與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。
刻劃精度達(dá)±0.5角秒,系統(tǒng)重復(fù)性達(dá)0.004角秒提供多種直徑和刻線數(shù),可與一系列具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容(直徑從52 mm到550 mm,刻線數(shù)從4096到86 400)具有有的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差,簡化了系統(tǒng)集成10 mm x 10 mm小截面圓光柵低質(zhì)量與低轉(zhuǎn)動慣量的設(shè)計增強(qiáng)了動態(tài)性能一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機(jī)械和熱撞擊,以及熱負(fù)載為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復(fù)時間,還可提供轉(zhuǎn)動量極低的"B"截面圓光柵參考零位(具有可重復(fù)的起始位置)由單獨的勵磁塊提供20μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容升級為TONiC
頂部RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)小巧,能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出非接觸式設(shè)計提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程具有有的光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號穩(wěn)定性REF接口提供自動增益控制(AGC)、自動平衡控制(ABC)和自動偏移量控制(AOC),極大降低了周期誤差(<±50 nm)參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開關(guān)則指示軸行程的終點可提供超高真空兼容型RGH20F版本
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技術(shù)規(guī)格讀數(shù)頭尺寸14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)輸出(分辨率)RS422:5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm、50 nm、20 nm(有RGH20F)、10 nm(有RGH20F)、5 nm(有RGH20F)模擬:1 Vpp細(xì)分RGH20—內(nèi)置細(xì)分電路達(dá)50 nmRGH20F—REF接口(x4至x4 000)(可獲得從x4至x4096的二進(jìn)制細(xì)分系數(shù))RGH35—RGI34接口(x4至x400)參考零位勵磁塊上的螺栓限位開關(guān)單限位(RGH40與40μm柵距Resm具有雙限位)高速度2938轉(zhuǎn)/分(直徑為?52 mm時為20μm)間隙公差0.8±0.08 mm柵尺類型20μm柵距(與RGH20和RGH35兼容)和40μm柵距(與RGH34和RGH40兼容)Resm圓光柵真空兼容是—RGH20F和20μm柵距Resm頂部系統(tǒng)精度—20μm柵距Resm與RGH20標(biāo)稱外徑(mm)系統(tǒng)精度(角秒)52 5.657 5.175 3.9100 2.9101 2.9103 2.8104 2.8115 2.5150 1.9200 1.4標(biāo)稱外徑(mm)系統(tǒng)精度(角秒)206 1.4209 1.4229 1.3255 1.1300 1.0350 0.8413 0.7417 0.7489 0.6550 0.5注:系統(tǒng)誤差等于刻度誤差加上電子細(xì)分誤差(SDE)。偏心等作用會影響安裝性能;
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