PI的多軸壓電撓性位移臺(tái)允許在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米精度進(jìn)行定位和掃描，包括，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。XYZ掃描儀是定位技術(shù)的方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準(zhǔn)，并隨測(cè)量記錄一起提供。納米定位具有很高的平面度和運(yùn)動(dòng)平直度

　　電容式傳感器的亞納米分辨率

　　電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

　　自動(dòng)配置和快速的組件更換

　　機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

　　適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

　　壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都適合在真空中使用。無(wú)需潤(rùn)滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。

　　PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

　　獲得利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

　　零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

　　撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

　　平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

　　所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)(取決于帶寬)主動(dòng)補(bǔ)償(主動(dòng)引導(dǎo))軸之間的不良串?dāng)_。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

　　更多詳情請(qǐng)前往：

　　https://www.afzhan.com/st206680/

　　http://www.handelsen-china.com/