SEM（場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡）：利用陰極所發(fā)射的電子束經(jīng)陽(yáng)極加速，由磁透鏡加速后形成一束直徑為幾十埃到幾千埃的電子束流，這束高能電子束轟擊到樣品表面會(huì)激發(fā)多種信息，經(jīng)過(guò)分別收集，放大就能從顯示屏上得到各種相應(yīng)的圖像。

EDS（能譜分析儀）：入射電子束可停留在被觀察區(qū)域上的任何位置.X射線在直徑1微米的體積內(nèi)產(chǎn)生,可對(duì)試樣表面元素的分布進(jìn)行質(zhì)和量的分析，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)各種信號(hào)。

可以對(duì)陶瓷、金屬、粉末、塑料等樣品進(jìn)行形貌觀察及成分分析。